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加速度傳感器靈敏度提高百倍以上
來源:科技日報 發(fā)表于 2020/7/1

科技日報消息,東京工業(yè)大學(xué)校長益一哉等人與NTT尖端技術(shù)公司利用包含多個金屬層的積層金屬結(jié)構(gòu),成功開發(fā)出具有超低噪聲和超高靈敏度的MEMS(微機電系統(tǒng))加速度傳感器,與以往相同尺寸的傳感器相比,靈敏度提高百倍以上,噪聲降至十分之一以下。這一創(chuàng)新技術(shù)實現(xiàn)其通用化,可用于醫(yī)療保健、基礎(chǔ)設(shè)施診斷、移動體控制、機器人(13.820, 0.15, 1.10%)應(yīng)用等各種運動檢測中,有助開發(fā)新的器件和系統(tǒng)。

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