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歐姆龍采用MEMS技術(shù)將非接觸溫度傳感器靈敏度提高至原來的7倍
來源:歐姆龍 發(fā)表于 2010/11/18

    歐姆龍?jiān)谧钚抡匍_的"第37屆國(guó)際福利機(jī)器展"推出了一款新型非接觸式溫度傳感器,由于采用了MEMS技術(shù),傳感器元件縮小為150微米,將傳感器元件排成16*16的陣列時(shí),芯片尺寸只有6mm見方,據(jù)稱為"業(yè)界最小水平",靈敏度提到到原有的7倍。

     歐姆龍表示,非接觸溫度傳感器具有攝像頭及熱釋傳感器所不具備的特點(diǎn),即對(duì)照明環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng),可感應(yīng)到處于靜止?fàn)顟B(tài)的人。但因其靈敏度較低,需要縮小感應(yīng)區(qū)域。因此,要在較大的空間內(nèi)進(jìn)行檢測(cè),需要安裝用來驅(qū)動(dòng)非接觸溫度傳感器的機(jī)構(gòu)以及多個(gè)傳感器,所以目前尚未普及。

     普通的非接觸溫度傳感器元件,很多紅外線都會(huì)穿透紅外線吸收膜,因而靈敏度較低。此次通過采用在開發(fā)液晶用背照燈時(shí)培育的光波控制技術(shù),開發(fā)出了可使紅外線匯聚到紅外線吸收膜的微鏡。開發(fā)這種微鏡時(shí),研究人員在以往很難形成曲面的硅晶圓上制作出了自由曲面。 由于可在硅晶圓上形成微鏡,因此能在晶圓級(jí)別上使傳感器元件與鏡片進(jìn)行真空接合,從而減少釋放到空氣中的熱量,以此提高靈敏度。可在保持響應(yīng)速度不變的情況下將靈敏度提高至原來的7倍。這樣,便可使感應(yīng)區(qū)域擴(kuò)大至原來的7倍。此次開發(fā)的據(jù)該公司介紹,芯片的靈敏度為350V/W,響應(yīng)速度為3ms左右。

     感應(yīng)區(qū)域擴(kuò)大至原來的7倍后,可在店鋪及車站等場(chǎng)所,實(shí)時(shí)檢測(cè)人群的擁擠情況,由此可將非接觸溫度傳感器用于空調(diào)控制用途,還能用于檢測(cè)夜間有人闖入等防盜用途。歐姆龍公司表示,今后將推進(jìn)MEMS非接觸溫度傳感器的產(chǎn)品化,通過將其連接至傳感器網(wǎng)絡(luò)等措施。

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