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- 壓力傳感器中硅微型應(yīng)用趨勢(shì)
- 來(lái)源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2015/10/20
壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè),下面就簡(jiǎn)單介紹一些常用傳感器原理及其應(yīng)用。另有醫(yī)用壓力傳感器。
而用微機(jī)械加工技術(shù)制造的典型產(chǎn)品是硅微型壓力傳感器,對(duì)此美國(guó)日本和歐洲均已形成產(chǎn)業(yè)。硅微型壓力傳感器近幾年來(lái)發(fā)展很快,該傳感器主要應(yīng)用于汽車(chē)工業(yè)和醫(yī)療保健領(lǐng)域。
硅微型壓力傳感器的特點(diǎn)是體積小,重量輕,沒(méi)有活動(dòng)部件,可靠性高,又能大規(guī)模生產(chǎn)該傳感器,所以造價(jià)低。高可靠性,低成本對(duì)于汽車(chē)工業(yè)的要求可以說(shuō)是非常適合的,因此在汽車(chē)工業(yè)中迅速擴(kuò)展了它的應(yīng)用領(lǐng)域。如自動(dòng)剎車(chē)系統(tǒng)的壓車(chē)面壓力,輪胎壓力,氣囊壓力,傳動(dòng)系統(tǒng)流體壓力,注入系統(tǒng)流體壓力,注入燃料壓力,發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力。進(jìn)氣管道壓力都有硅微型壓力傳感器額用武之地。
硅微型壓力傳感器在醫(yī)療保健領(lǐng)域里的最大應(yīng)用產(chǎn)品是血壓監(jiān)視器。據(jù)稱(chēng)一些大的醫(yī)療機(jī)械制造上每年要使用近500萬(wàn)只壓力傳感器。此外,如婦女難產(chǎn)時(shí)監(jiān)控子宮壓力用的硅微型壓力傳感器,靜脈注射監(jiān)控藥液流動(dòng)的傳感器等都是有相當(dāng)數(shù)量的市場(chǎng)需求。其他許多醫(yī)療保健方面的應(yīng)用也正在不斷開(kāi)發(fā)中。
硅微型壓力傳感器基本上分成兩類(lèi):電容式和壓阻式。電容式的壓力傳感器包括一個(gè)薄膜,它作為可變空氣電容器的一個(gè)極板,當(dāng)薄膜上承受壓力時(shí),薄膜產(chǎn)生位移,從而改變電容值,利用這種變化經(jīng)過(guò)相應(yīng)的電路處理,就可得到壓力值。壓阻式傳感器使用硅材料承受壓力時(shí)會(huì)產(chǎn)生電阻變化的原理制成,一般將4個(gè)硅材料的應(yīng)變電阻構(gòu)成惠斯通電橋來(lái)測(cè)量壓力。
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