傳感器新材料、新技術(shù)的發(fā)展，將會(huì)在幾個(gè)方面有所突破：首先，敏感元件與傳感器發(fā)展的總趨勢(shì)是小型化、多功能化、智能化、集成化以及系統(tǒng)化。傳感技術(shù)涉及多學(xué)科的交叉，它的設(shè)計(jì)需要多學(xué)科綜合理論分析。因此，常規(guī)的方法已難以滿足，CAD技術(shù)將得到廣泛應(yīng)用。隨著新型敏感材料的加速開(kāi)發(fā)，微電子、光電子、生物化學(xué)、信息處理等各學(xué)科、各種新技術(shù)的相互滲透和綜合利用，已使一批先進(jìn)、新穎的傳感器先后問(wèn)世。比如：智能傳感器、模糊傳感器、光纖傳感器、基因傳感器、生物傳感器以及超導(dǎo)傳感器等。這標(biāo)志著傳感器產(chǎn)業(yè)將進(jìn)一步向著生產(chǎn)規(guī)�；�、專業(yè)化和自動(dòng)化方向發(fā)展。

　　傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ)，材料科學(xué)的進(jìn)步，可導(dǎo)致人們制造出各種新型的傳感器。例如：溫度傳感器利用高分子聚合物薄膜材料制成。它能隨周圍環(huán)境的相對(duì)濕度大小成比例地吸附和釋放水分子。其介電常數(shù)小，因此，水分子能提高聚合物的介電常數(shù)。利用此原理制成的溫度傳感器測(cè)濕測(cè)溫范圍寬，響應(yīng)速度快。陶瓷材料可用來(lái)制成壓力傳感器。這是一種無(wú)中介液的干式壓力傳感器。采用先進(jìn)的陶瓷技術(shù)，厚膜電子技術(shù)，因此性能穩(wěn)定．飄移量�。�抗過(guò)載能力強(qiáng)，這些特點(diǎn)都是傳統(tǒng)傳感器無(wú)法比擬的。壓力、流量、溫度、物位等傳感器可用光導(dǎo)纖維制成。這是傳感材料的一個(gè)重大突破。當(dāng)溫度、壓力、電場(chǎng)、磁場(chǎng)等環(huán)境條件變化時(shí)，引起光纖傳輸?shù)墓獠◤?qiáng)度、相位、頻率、偏振態(tài)等變化，通過(guò)測(cè)量光波員的變化，就可以知道導(dǎo)致這些光波量變化的溫度、壓力、電場(chǎng)、磁場(chǎng)等物理量的大小，這就是光導(dǎo)纖維傳感器的基本原理。它的特點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、靈敏度高、耐腐蝕、電絕緣性好、光路可彎曲，便于實(shí)現(xiàn)遙測(cè)等。硅傳感器的研究、生產(chǎn)和應(yīng)用將成為主流，半導(dǎo)體工業(yè)將更加有力地帶動(dòng)傳感器的工藝制造技術(shù)，而微處理器和計(jì)算機(jī)也將進(jìn)一步帶動(dòng)新一代智能傳感器和網(wǎng)絡(luò)傳感器的發(fā)展。美國(guó)還研制出了線性度在0.1到0.65范圍內(nèi)的硅微壓力傳感器，以硅為材料，具有獨(dú)特的三維結(jié)構(gòu)，輕細(xì)微機(jī)械加工，多次蝕刻制成惠斯登電橋于硅膜片上，當(dāng)硅片上方受力時(shí)，其產(chǎn)生變形，電阻產(chǎn)生壓阻效應(yīng)使電橋失去平衡，輸出與壓力成比例的電信號(hào)。它的最大特點(diǎn)是敏感元件體積為微米量級(jí)，是傳統(tǒng)傳感器的幾十、甚至幾百分之一。在生物醫(yī)學(xué)、工業(yè)控制、航空航天領(lǐng)域等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。因此，硅微傳感器是當(dāng)今傳感器發(fā)展的前沿技術(shù)。

　　當(dāng)前，微機(jī)械加工技術(shù)和微米砌米技術(shù)也將得到高速發(fā)展。傳感器的規(guī)�；�生產(chǎn)由傳統(tǒng)的機(jī)械加工方式向微機(jī)械加工方式過(guò)渡。半導(dǎo)體技術(shù)中的加工方法有氧化、光刻、擴(kuò)散、沉積、平面電子工藝，各向?qū)�性腐蝕及蒸鍍，濺射薄膜等，這些都已引進(jìn)到傳感器制造中去，因而產(chǎn)生了各種新型的傳感器。如：利用薄膜工藝制造出快速響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器以及利用濺射薄膜工藝制造的壓力傳感器。它可以克服非金屬式應(yīng)變計(jì)容易受溫度影響的不足，具有很高的穩(wěn)定性。不僅能克g隴統(tǒng)粘貼式帶來(lái)的精度低、遲滯大等缺點(diǎn)，并且具有精度高、可靠性高、體積小的特點(diǎn)，因而被測(cè)介質(zhì)范圍寬，適用于各種場(chǎng)合，在石油、化工、醫(yī)療、航空等領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用。全硅諧振式壓力傳感器可以利用兩個(gè)諧振梁的頻差對(duì)應(yīng)不同的壓力，用頻率差的方法測(cè)壓力，可消除環(huán)境溫度等因素帶來(lái)的誤差。當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí)，兩個(gè)諧振梁頻率和幅度變化相同，其相同變化量可以互相抵稍。因而使測(cè)量精度大大提高。

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