傳感器集成化包括兩種定義，一是同一功能的多元件并列化，即將同一類型的單個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列起來，排成1維的為線性傳感器，CCD圖象傳感器就屬于這種情況。集成化的另一個定義是多功能一體化，即將傳感器與放大、運算以及溫度補償?shù)拳h(huán)節(jié)一體化，組裝成一個器件。

　　隨著傳感器及微電子技術(shù)的發(fā)展，人們可以在同一材料上制作幾種敏感元器件，制成能夠檢測多個參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結(jié)構(gòu)形式：幾種不同的敏感元器件制作在同一個硅片，制成集成化多功能傳感器，該種傳感器集成度高、體積小，各個敏感元器件的工作氛圍相同，容易實現(xiàn)補償和校正，這是多功能傳感器發(fā)展的一個方向。

　　多功能化的典型實例——美國某大學(xué)傳感器研究發(fā)展中心研制的單片硅多維力傳感器可以同時測量3個線速度傳感器、3個離心加速度傳感器和3個角速度。主要元件是由4個正確設(shè)計安裝在一個基板上的懸臂梁組成的單片硅結(jié)構(gòu)，9個正確布置在各個懸臂梁上的壓阻敏感元件。多功能化不僅可以降低生產(chǎn)成本，減小體積，而且可以有效的提高傳感器的穩(wěn)定性、可靠性等性能指標。

　　幾種不同的敏感元器件組合在一起形成一個傳感器，可以同時測量幾個參數(shù)，各敏感元器件是獨立的，如將測量溫度和測量濕度敏感元件組合在一起．構(gòu)成多功能溫濕度傳感器；用同一個敏感元器件的不同效應(yīng)，得到不同的信息，如將線圈作為敏感元件，在具有不同磁導(dǎo)率或介電常數(shù)物質(zhì)的作用下，表現(xiàn)出不同的電容和電感。

　　同一個敏感元件在不同激勵下表現(xiàn)出不同特性，例如傳感器施加不同的激勵電樂、電流，在不同溫度下，其特性不同，有時可相串于幾個不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起，需要用信號處理的方法將各種信息進行分離。多功能集成化傳感器將隨著工業(yè)等自動化行業(yè)得到進一步發(fā)展。

　　轉(zhuǎn)載請注明來源：賽斯維傳感器網(wǎng)（ywhs9.com）