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東北師范大學在氣體傳感器研究領域取得重要進展
來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/5/24

  近期,東北師范大學物理學院劉益春教授研究團隊湯慶鑫教授課題組在氣體傳感器研究領域取得重要進展,構筑了一種新型的具有高靈敏度、低檢測下限、快速響應及完全恢復特性的室溫工作的SO2傳感器。

   在氣體傳感器研究領域,通過廉價的半導體傳感器檢測低濃度的SO2一直存在著很大挑戰(zhàn)。該課題組利用場效應晶體管電流集中在極薄導電溝道層的特點,采用新型空氣間隙絕緣層酞菁銅微納單晶場效應晶體管作為SO2傳感器,將場效應晶體管最敏感的導電溝道層直接暴露于SO2中,在國際上首次實現(xiàn)了0.5 ppm量級SO2的半導體器件室溫高靈敏檢測,分辨率達100 ppb,可滿足SO2測試實用化的要求,為新型實用化SO2傳感器研究提供了全新的思路。

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