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- 刨根問底：MEMS傳感器特性大比拼（二）
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2012/12/5
加速度傳感器
加速度傳感器的原理是用彈簧支撐的紡錘隨著加速度而運(yùn)動(dòng)，將這種運(yùn)動(dòng)和紡錘體之間的容量值的變化以電氣形式檢測(cè)出來。村田用了4個(gè)紡錘的獨(dú)特結(jié)構(gòu)才實(shí)現(xiàn)此功能。對(duì)于使用了4個(gè)紡錘所測(cè)量出的X、Y、Z3個(gè)軸的加速度情報(bào)，可以得到其中一個(gè)自由度最大的情報(bào)。通過這個(gè)自由度可實(shí)現(xiàn)平時(shí)的自我診斷功能。因此，高信賴性已經(jīng)成為必要的車載傳感器的必要條件。
圖2：加速度傳感器
圖3：加速度傳感器元件的結(jié)構(gòu)
圖4：加速度傳感器的特性圖
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