高性能耳溫槍、額溫槍等非接觸式測(cè)溫工具是當(dāng)前對(duì)大規(guī)模人員進(jìn)行發(fā)熱篩查的主要工具之一，其核心部件MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）紅外溫度傳感器長(zhǎng)期主要依賴進(jìn)口。近日，中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)電子院華東光電集成器件研究所通過(guò)技術(shù)攻關(guān)，已完成傳感器芯片各類單項(xiàng)試驗(yàn)，性能指標(biāo)精度達(dá)到0.1℃，抗干擾能力優(yōu)于目前市場(chǎng)主流產(chǎn)品（性能指標(biāo)精度為0.3℃）。

因疫情防控、復(fù)工復(fù)產(chǎn)需要，高性能耳溫槍和額溫槍等非接觸式人體測(cè)溫工具MEMS紅外傳感器有了上百萬(wàn)顆的訂貨需求。華東光電集成器件研究所自1月底緊急調(diào)整產(chǎn)品研制計(jì)劃，提前復(fù)工復(fù)產(chǎn)，組建黨員突擊隊(duì)和技術(shù)攻關(guān)小組，24小時(shí)不間斷輪班開(kāi)展研制工作，目前已完成傳感器芯片各類單項(xiàng)試驗(yàn)，預(yù)計(jì)在3月底完成芯片樣品研制。同時(shí)該所還采購(gòu)全自動(dòng)化組封裝關(guān)鍵設(shè)備、補(bǔ)充芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，推動(dòng)傳感器芯片制造、組封裝的國(guó)產(chǎn)化，月產(chǎn)能從目前的2萬(wàn)顆提升到100萬(wàn)顆以上，4月初可大量投放市場(chǎng)。

作為國(guó)家發(fā)改委MEMS國(guó)家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室和兵器工業(yè)集團(tuán)微系統(tǒng)制造技術(shù)創(chuàng)新中心，華東光電集成器件研究所具有MEMS傳感器芯片設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試等完整的科研能力，通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新取得MEMS傳感器多項(xiàng)技術(shù)成果，下一步將開(kāi)發(fā)相關(guān)測(cè)溫產(chǎn)品，滿足疫情防控、復(fù)工復(fù)產(chǎn)等高精度人體測(cè)溫需要。

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