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電容式壓力傳感器的工作原
來(lái)源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/10/15

  科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,極大地豐富了壓力測(cè)量產(chǎn)品的種類,現(xiàn)在,壓力傳感器依據(jù)工作原理的不同,有電容式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、金屬應(yīng)變式壓力傳感器、霍爾式壓力傳感器、振筒式壓力傳感器等種類,而其中電容式、壓阻式和金屬應(yīng)變式傳感器是最為多見的。

  金屬應(yīng)變式壓力傳感器是一種歷史較長(zhǎng)的壓力傳感器,但由于它存在遲滯、蠕變及溫度性能差等缺點(diǎn),其應(yīng)用場(chǎng)合受到了很大的限制。

  壓阻式傳感器是利用半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)制造的一種新型的傳感器,它具有制造方便,成本低廉等特點(diǎn),但由于半導(dǎo)體材料對(duì)溫度極為敏感,所以其性能受溫度影響較大,產(chǎn)品的一致性較差。

  電容式傳感器是應(yīng)用最廣泛的一種壓力傳感器,其原理十分簡(jiǎn)單。一個(gè)無(wú)限大平行平板電容器的電容值可表示為:

  C= ε s/d(ε 為平行平板間介質(zhì)的介電常數(shù),d 為極板的間距, s 為極板的覆蓋面積)

  改變其中某個(gè)參數(shù),即可改變電容量。由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,幾乎所有電容式壓力傳感器均采用改變間隙的方法來(lái)獲得可變電容。電容式傳感器的初始電容值較小,一般為幾十皮法,它極易受到導(dǎo)線電容和電路的分布電容的影響。

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