MEMS技術(shù)從功能上來劃分可分為MEMS傳感器、MEMS執(zhí)行器、射頻MEMS器件、生物MEMS、微光機電系統(tǒng)等。下面就MEMS傳感器的技術(shù)應用做一個簡單的介紹，MEMS傳感器也稱微型傳感器，是微型集成化器件，是應用最廣泛的MEMS器件。MEMS傳感器一般是把信號處理電路和敏感單元集成制作在一個芯片上。這樣傳感器不僅能夠感知被測參數(shù)，將其轉(zhuǎn)換成方便度量的信號；而且能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷，因此形象地被稱為智能傳感器。

　　 按照被測量區(qū)分，MEMS傳感器可分為下面七大類，壓力傳感器：絕對壓力的傳感器和計量壓力的傳感器。熱學傳感器：熱量和溫度傳感器。力學傳感器。力、壓強、速度和加速度傳感器。化學傳感器：化學濃度、化學成分和反應率傳感器。磁學傳感器：磁場強度、磁通密度和磁化強度傳感器。輻射傳感器：電磁波強度傳感器。電學傳感器：電壓、電流和電荷傳感器。MEMS型壓力傳感器可分為壓阻式、電容式和壓電式。壓阻式傳感器利用壓阻效應來測量壓力大小。所謂壓阻效應是指材料(特別是半導體材料)受到應力作用時，電阻率發(fā)生明顯變化的現(xiàn)象。

　　MEMS加速度傳感器的類型很多，按信號檢測方式可以分為電容式、壓阻式和隧道電流式，電容式加速度傳感器由于具有體積小、工藝簡單、一致性好、溫度漂移小等諸多優(yōu)點，從而在眾多領域得到了廣泛應用。MEMS加速度傳感器可用于測量彈藥韌射角和軌跡，進行智能化引信控制，縮小炸點散布，大幅度提高壓制性兵器的武器效能；MEMS加速度傳感器還可以用在彈道修正引信、侵徹自適應引信、常規(guī)彈道測試、導航定位系統(tǒng)中，進行彈道修正、提高射程，甚至制造出80—120 km射程的制導火箭彈。高量程的加速度傳感器在軍事領城當中具有非常重要的應用價值，最典型的用途是應用在侵徹硬目標的“鉆地”和“穿甲”彈的引情系統(tǒng)。日常見到的陀螺是孩子們的玩具，高速自轉(zhuǎn)的陀螺具有保持其對稱方向基本不變的特性，常用做航空和航天飛行器中的定向裝置，這也是慣性MEMS的用途之一。

　　 除了上面介紹的幾種典型MEMS傳感器外，還有許許多多的MEMS傳感器，如用于微觀判斷的MEMS觸覺傳感器(觸覺包括接近覺、接觸覺、壓覺、力覺、滑覺等)、MEMS生物傳感器、MEMS圖像傳感器、用于氣象分析的微型氣相色譜儀、可分析氣體的種類和濃度的MEMS氣敏傳感器(電子鼻)、測量濕度的微型濕敏傳感器、用于測量各種氣體流量的微型氣體流量傳感器等。

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