隨著我國經(jīng)濟建設步伐的加快，汽車開始越來越多的進入現(xiàn)代家庭，汽車電子也因此受到更多的重視。近些年來，國內(nèi)外眾多企業(yè)和學術科研機構投入了大量的人力物力，研究和開發(fā)新的汽車電子技術，并在某些領域取得了許多突破性的進展。
　　傳感器技術作為現(xiàn)代工業(yè)控制四大支柱產(chǎn)業(yè)，在汽車電子的設計研究中占有突出的地位，傳感器已成為汽車控制系統(tǒng)中的一個重要組成部分。通常一輛現(xiàn)代化的汽車，裝備的傳感器數(shù)可多達50～60個，而國外有些高級轎車，其裝備的傳感器數(shù)已達到數(shù)百個，至于概念型汽車裝備的傳感器數(shù)就更多了。傳感器已成為世界裝備市場上增長最快的領域之一。[1]
　　事實上，應用于汽車上的傳感器有很多種，目前主要有：溫度傳感器、壓力傳感器、流量傳感器、位移傳感器以及速度、加速度傳感器等[2]。這些汽車傳感器的銷售量約占有傳感器總銷售量的三分之一，其中流量傳感器就是非常重要的一種傳感器。
　　2. LMM的工作原理
　　流量傳感器主要用于檢測發(fā)動機的空氣進氣量和燃油噴射量，從而將空燃比控制在最佳值附近，此外流量傳感器還廣泛利用于排氣再循環(huán)、防滑驅(qū)動、剎車防抱死系統(tǒng)以及電控懸架等許多方面。目前市場上用于檢測燃料流量的傳感器主要有水輪式和循環(huán)球式，其動態(tài)范圍為0～60kg/h，工作溫度在－40℃～120℃，精度為 1％，響應時間為 10ms。
　　而由于氣體的可壓縮性，通常我們檢測氣體質(zhì)量流量，市場上主要使用的有熱線式流量傳感器。這種傳感器采用熱耗散原理，將一個熱線式敏感元件安放在空氣入口的旁路中，在輔助熱線元件的溫度補償作用下，檢測空氣質(zhì)量流量。但是這種傳感器的缺點是不能檢測空氣流量的回流波動。此外檢測氣體流量的傳感器還有熱膜式流量傳感器、卡爾曼旋渦式傳感器和壓力式傳感器[3]。
　　LMM流量傳感器是一種基于傳統(tǒng)的熱膜片風力計原理的新型傳感器。該傳感器是借助先進的薄膜片技術，將性能穩(wěn)定的薄膜片電阻加工到一片薄膜上。由于采用了MEMS加工，因此一方面縮短了傳感器響應時間，另一方面也能測量出回流流量。LMM的原理電路圖可以參見圖1所示，由于采用了前后橋電路，所以我們可以很方便的判斷出流體流向，從而進一步測量出回流流量。
　　為了防止溫度變化對測量精度的影響，傳感器中采用了兩片熱敏電阻分別對前后橋進行溫度補償。為了提高精度，兩片用于測量溫度的熱敏電阻6、7與流體流向9平行布置，而用于測量流體流量的兩片熱電阻傳感器4、5互相平行并與流向9垂直布置（如圖2所示），其中3為傳感部件，17、18都是1μm數(shù)量級的SiO2薄膜，19為Si底層，20為帶狀電導。
　　3. LMM在電噴系統(tǒng)中的應用研究
　　汽車電子技術是從電子控制燃油噴射技術開始的。隨著電子技術的發(fā)展，電控燃油噴射經(jīng)歷了從電子管、晶體管、集成電路到微處理器控制，從模擬電子噴射到數(shù)字電子噴射的發(fā)展過程。[4]
　　電控燃油噴射的目的是將空燃比控制在最佳值。所謂空燃比是指吸入到氣缸里的工作混合氣體中，空氣質(zhì)量和燃油質(zhì)量的比值，通常最佳值在14.7左右。將空燃比控制在最佳值附近不僅能夠減少有害廢氣的排放，而且能夠提高燃油的經(jīng)濟性和車輛的動力性[5]。顯而易見，控制空燃比最主要的是要檢測并控制空氣質(zhì)量流量和燃油質(zhì)量流量，因此流量傳感器在電噴系統(tǒng)中是非常重要的傳感器，其產(chǎn)品性能的優(yōu)劣直接影響到控制效果的好壞。
　　由于LMM僅僅是敏感部件，所以我們首先需要設計外圍電路（如圖3所示），再將LMM與外圍電路加工到流量計的機械部件中，從而生產(chǎn)出流量計。
　　圖3中，21和22為跟隨器，它可以給6提供穩(wěn)定的電壓，起解耦的作用，而23和24為工作放大器，其作用是分別放大前后橋輸出電壓Umv和Umh，從而放大它們的差值信號。
　　6和7分別為前后橋的溫度傳感器，起溫度補償作用，4和5則分別為前后橋的熱傳感器，它們和微處理器16均為流量計的核心部件。工作時，由于流體對4和5的冷卻不一致，導致了它們的阻值變化不同，從而可以得到不同的輸出信號。根據(jù)這些信號，我們可以確定流量的方向和大小。
　　此外，前橋電路中，電阻R6和R7起分壓作用，可以使跟隨器21的輸入電壓鉗制在一個穩(wěn)定值，同理R16和R17也是起到在后橋電路的分壓作用，而R4和R14分別協(xié)同4和5工作。
　　微處理器16的作用主要是修正測量值，并進一步提供溫度補償。通過標定，我們可以確定算法程序中的參數(shù)值，并能確定特征曲線方程和特征曲面的表。
　　---由于微處理器16是直接給電噴系統(tǒng)的ECU輸出信號的部件，而前后橋輸出的信號是模擬量，所以微處理器16硬件設計中包含了ADC。軟件設計中，程序包括了以下幾個子程序：
　　a. 溫度測量子程序ST1；
　　b. 正向流量修正子程序ST2；
　　c. 反向流量修正子程序ST3；
　　d. 溫度補償子程序ST4。
　　其中a、b、c均為單個自變量確定的特征曲線，而d卻為兩個自變量確定的特征曲面。因為兩個自變量確定的特征曲面的測量和函數(shù)表示都非常困難，且計算量很大，所以該子程序用增多測量點和線性插值的方法來減小計算量，從而減少了響應時間。
　　在微處理器16，軟件結構主控程序的流程圖如圖4所示。其中C為常數(shù)輸出，Uq為輸入電壓，Uul和Udl分別為Umv-Umh的上下限。
　　---將流量傳感器LMM安裝于發(fā)動機進氣口處，用于測量電噴系統(tǒng)的進氣量，通過數(shù)據(jù)記錄，我們得到了如圖5所示的波形圖。其中，f和b分別表示氣流狀態(tài)是前向進氣和氣流回流，縱向坐標為輸出電壓（V），橫向坐標為時間（t）。從圖中，我們不難能夠發(fā)現(xiàn)LMM能有效的識別出氣流方向，并能如實的反映出氣流量的大小變化情況。
　　4. 結束語
　　隨著設計技術、材料技術以及新型的加工技術的產(chǎn)生和發(fā)展，未來流量傳感器的趨勢主要是朝著微型化、多功能化、集成化以及智能化的方向發(fā)展。特別是MEMS的出現(xiàn)，使得加工精度和生產(chǎn)效率得到了提高，從而大大降低了成本，對傳感器市場的擴大起到了積極的作用。
　　由于流量傳感器在汽車電子市場中占有重要比重，因此隨著成本的降低和性能的提高，發(fā)展和應用流量傳感器是汽車電子發(fā)展的必然，也是其他工業(yè)控制中無可置疑的發(fā)展趨勢。

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