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加速度、陀螺儀傳感器工作原理
來源:csdn 發(fā)表于 2023/3/2

加速度傳感器

G-sensor(Gravity sensor),重力傳感器,又名加速度傳感器(accelerometer),是能感知加速度大小的MEMS傳感器。

工作原理

如圖中的模型, 一個(gè)質(zhì)量塊兩端通過彈簧進(jìn)行固定。在沒有加速度的情況下,彈簧不會(huì)發(fā)生形變,質(zhì)量塊靜止。當(dāng)產(chǎn)生加速度時(shí),彈簧發(fā)生形變,質(zhì)量塊的位置會(huì)發(fā)生變化。 彈簧的形變量隨著加速度的增大而增大。在彈簧的勁度系統(tǒng) k 和質(zhì)量塊的質(zhì)量 m已知的情況下,只要測量出彈簧的形變量,就可以求出系統(tǒng)的加速度。

G-sensor內(nèi)部有 finger sets, 用來測量產(chǎn)生加速度讀時(shí)質(zhì)量塊的位移。 每一個(gè)finger set 相當(dāng)兩個(gè)電容極板, 當(dāng)有加速度時(shí)質(zhì)量塊會(huì)產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng),而位移的變化會(huì)導(dǎo)致差分電容的變化。

具體的差分電容檢測和計(jì)算加速度過程由G-sensor內(nèi)部完成,我們只需要直接讀取其轉(zhuǎn)化后的值即可。G-sensor輸出值也不是直接的加速度值,它的計(jì)量單位是通常用g表示,1g代表一個(gè)重力加速度,即9.8m/s^2。1g=1000mg。

這里用一個(gè)例子再次強(qiáng)調(diào)一下G-sensor的輸出值是根據(jù)其內(nèi)部質(zhì)量塊的位移計(jì)算得出的:
將G-sensor的Z軸垂直向地,靜止放置在水平桌面上,此時(shí)G-sensor芯片是靜止的,雖然芯片整體加速度為0g,但是讀取其輸出值,X/Y軸輸出為0g,Z軸輸出為1g。因?yàn)閮?nèi)部質(zhì)量塊在重力加速度的作用下,產(chǎn)生了位移。


G-sensor重要參數(shù)
測量范圍 Measurement Rang

測量范圍是傳感器可以支持的輸出加速度范圍,通常用±g 表示。這就是G-sensor可以測量并準(zhǔn)確輸出的最大加速度。例如,一個(gè)測量范圍是±8g G-sensor,它的輸出一直到加速度達(dá)到±8g 時(shí)是線性的。
靈敏度 Sensitivity

靈敏度表示傳感器輸出隨加速度(輸入)變化的比例,它定義理想情況下加速度和傳感器輸出的直線關(guān)系。數(shù)字輸出的傳感器的靈敏度通常使用 LSB/g 或mg/LSB 表示。例如,一個(gè)靈敏度為4mg/LSB的G-sensor,若其Z軸輸出為100,則可計(jì)算出Z軸加速度為400mg。
0g偏移 0g-offset

0g 偏移置表示在沒有加速度(零輸入)時(shí)輸出的測量值。模擬輸出的傳感器通常使用伏特或毫伏表示,數(shù)字輸出的傳感器使用碼字表示。

不同型號(hào)的G-sensor的 0g-offset 不同,同一型號(hào)的不同芯片的 0g-offset 也不同,甚至同一顆芯片中不同軸的 0g-offset 也不同,是否需要校正要視具體應(yīng)用而定。如果應(yīng)用中只關(guān)心加速度的相對(duì)變化,而不關(guān)心加速度的具體數(shù)值,則不需要校正。如果是關(guān)心加速度的具體數(shù)值,而所選器件的 0g-offset 又比較大,則必須要校正。

某些G-sensor本身有 offset 寄存器,這是只需要把待校準(zhǔn)的軸沿水平方向靜止放置,測量其 0g 時(shí)的輸出,并把這個(gè)值乘以-1 寫入 offset 寄存器即可。如果G-sensor本身沒有 offset 寄存器,則需要用戶在自己的處理器中記錄這個(gè)數(shù)值,并在實(shí)際的測量結(jié)果中減去這個(gè) offset。
輸出速率 ODR

*ODR(Output Data Rate),表示G-sensor的輸出數(shù)據(jù)的刷新頻率。*ODR越高,輸出數(shù)據(jù)更新越快,功耗越高。G-sensor的ODR往往都是可以配置的。


工作模式

陀螺儀傳感器的原理

首先了解一下MEMS加速度計(jì)的原理,簡圖如下圖所示,其中質(zhì)量塊mass被彈簧springs支撐,使得其只能沿著預(yù)定方向位移,從而檢測特定方向的加速度;綠的部分是固定的電極板Fixed plates。檢測原理是當(dāng)質(zhì)量塊感受到加速度時(shí),會(huì)在相應(yīng)方向產(chǎn)生位移,從而使得固定電極板構(gòu)成的兩個(gè)平行板電容器C1,C2的電容大小發(fā)生改變,檢測其電容值大小即可換算成相應(yīng)的加速度

**陀螺儀工作原理簡介:**MEMS陀螺儀的檢測原理與MEMS加速度計(jì)類似,它基于科里奧利效應(yīng)(Coriolis Effect)所產(chǎn)生的科里奧利力(Coriolis Force)而設(shè)計(jì)的。

如下圖所示,MEMS陀螺儀的核心是一個(gè)微加工機(jī)械單元,其訊號(hào)調(diào)節(jié)電路可以分為馬達(dá)驅(qū)動(dòng)和加速度計(jì)感測電路兩個(gè)部分。其中,馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部分是透過靜電引動(dòng)方法,產(chǎn)生一個(gè)音叉機(jī)制共振運(yùn)動(dòng),為機(jī)械元件提供激勵(lì);科里奧利力把角速率轉(zhuǎn)換成一個(gè)特定感測結(jié)構(gòu)的位移,通過位移產(chǎn)生電容變化,感測部分透過測量電容變化來測量科氏力在感測質(zhì)量上產(chǎn)生的位移。因?yàn)槲灰拼笮∨c所施加的角速率大小成正比,以此可以獲得角速度和角加速度量
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